近日，由中國科學院高能物理研究所濟南研究部（濟南中科核技術研究院）自主研發的全自動絕緣柵雙極晶體管（IGBT）缺陷X射線三維檢測設備，在功率半導體行業聯盟第八屆國際學術論壇上亮相。該設備依托X射線計算機層析成像技術和先進的缺陷智能檢測軟件算法，為IGBT模塊封測提供了全新的無損檢測解決方案。

　　IGBT是一種功率半導體器件，被稱為電力電子裝置的“心臟”，在高鐵、新能源汽車、軌道交通、智能電網、航空航天等領域應用極廣。

　　中國科學院高能物理研究所副研究員劉寶東介紹，目前，對IGBT檢測的常用手段是超聲檢測，但這種方法非常容易受散熱柱的干擾，導致檢測偏差。另外，超聲檢測要將模塊浸入水中，需要隔離水的工裝，還需要人工操作，檢測過程復雜，難以實現在線檢測，效率比較低。同時，IGBT模塊具有兩個焊料層，用普通的二維X光成像，會將兩層混在一起，無法區分，而且有些大功率的模塊帶有散熱柱，會嚴重影響氣孔檢測的準確率。

　　劉寶東介紹，該設備基于X射線計算機層析成像技術，并將人工智能算法引入檢測系統，可對不合格產品進行自動識別及分揀，實現了IGBT模塊的全自動在線無損檢測以及數據的實時反饋存儲。