中科院微電子所集成電路先導工藝研發中心共申請發明專利1475項（含國外發明專利申請389項），其中已獲授權932項發明專利（含國外授權發明專利333項）。這些專利涵蓋了集成電路制造先進技術代的主要技術領域，例如鰭式場效應晶體管（FinFET）、高k金屬柵（HKMG）、源漏工藝等。