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集成電路計(jì)算光刻與設(shè)計(jì)優(yōu)化實(shí)驗(yàn)室依托于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，成立于2013年7月，由韋亞一博士組建。實(shí)驗(yàn)室下設(shè)如下主要方向：集成電路計(jì)算光刻方向、設(shè)計(jì)與工藝協(xié)同優(yōu)化方向、先進(jìn)光刻工藝。實(shí)驗(yàn)室在2016年8月開通了“光刻人的世界”公眾號(hào)，旨在分享光刻領(lǐng)域（包括光刻、刻蝕、設(shè)計(jì)優(yōu)化、測(cè)量）的動(dòng)態(tài)和最新進(jìn)展、以及相關(guān)的各種專業(yè)知識(shí)和實(shí)用資源，打造集成電路制造...
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計(jì)算光刻課題組更多+
集成電路計(jì)算光刻與設(shè)計(jì)優(yōu)化實(shí)驗(yàn)室依托于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，成立于2013年7月，由韋亞一博士組建。實(shí)驗(yàn)室下設(shè)如下主要方向：集成電路計(jì)算光刻方向、設(shè)計(jì)與工藝協(xié)同優(yōu)化方向、先進(jìn)光刻工藝。實(shí)驗(yàn)室在2016年8月開通了“光刻人的世界”公眾號(hào)，旨在分享光刻領(lǐng)域（包括光刻、刻蝕、設(shè)計(jì)優(yōu)化、測(cè)量）的動(dòng)態(tài)和最新進(jìn)展、以及相關(guān)的各種專業(yè)知識(shí)和實(shí)用資源，打造集成電路制造...