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面向集成電路持續微縮挑戰和重要技術創新需求，本課題組聚焦于超越當前主流制造工藝兩代以上的核心器件和關鍵工藝，從新材料、新結構和新原理上開展前瞻技術研究，形成國際一流的原創成果，建立面向未來產業開發應用的核心技術方案和關鍵知識產權體系，為集成電路的重大技術創新與變革發展奠定探索基本技術路線。 當前本課題組開展的主要研究方向有“水平和垂直納米線（片）...
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面向集成電路持續微縮挑戰和重要技術創新需求，本課題組聚焦于超越當前主流制造工藝兩代以上的核心器件和關鍵工藝，從新材料、新結構和新原理上開展前瞻技術研究，形成國際一流的原創成果，建立面向未來產業開發應用的核心技術方案和關鍵知識產權體系，為集成電路的重大技術創新與變革發展奠定探索基本技術路線。 當前本課題組開展的主要研究方向有“水平和垂直納米線（片）...