據美國著名專利咨詢公司LexInnova 2016年度發布：在最先進的商用晶體管（FinFET）方面，微電子所的專利整體質量全球排名第一，超越了世界最頂尖的半導體公司，包括美國Intel和IBM、韓國三星、臺灣臺積電、日本Sony和Toshiba、歐洲英飛凌等。同時，專利申請量排名全球第十一，是中國大陸唯一進入世界前20名的單位。（見《FinFET: Extending Moore’s Law》，2016，LexInnova）

　　微電子所的FinFET專利組合在專利質量和專利數量的綜合能力上具有了與世界主要半導體企業同等的地位，在我國集成電路知識產權領域實現了重大突破。微電子所在FinFET的高K金屬柵、源漏接觸、溝道工程等先進晶體管制造工藝必備的多項關鍵技術領域打破了國外半導體巨頭在該技術領域的知識產權壁壘，在集成電路制造最新技術代的關鍵技術領域形成了較系統的知識產權布局并在國際上占據了一席之地。

　　微電子所FinFET專利申請數量排名全球第11

　　微電子所的FinFET專利質量排名全球第一