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MEMS器件及系統中心隸屬于中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心，是CMOS-MEMS兼容的微納加工、檢測與代工服務于一體的多功能加工平臺。主要為客戶提供MEMS工藝開發、測試分析、設計及結構驗證、 MEMS器件代工制造、封裝與測試等服務。該中心可與研究所、高校和企業全方位對接，為科研服務，同時兼顧企業需求，為企業提供技術支撐與代工服務。對外開放共享是研究...
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MEMS器件及系統中心隸屬于中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心，是CMOS-MEMS兼容的微納加工、檢測與代工服務于一體的多功能加工平臺。主要為客戶提供MEMS工藝開發、測試分析、設計及結構驗證、 MEMS器件代工制造、封裝與測試等服務。該中心可與研究所、高校和企業全方位對接，為科研服務，同時兼顧企業需求，為企業提供技術支撐與代工服務。對外開放共享是研究...