近日，中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心陳大鵬研究員課題組在熱敏微納器件自測試領域取得階段性研究進展。熱敏微納器件是通過與溫度相關的電學輸出反映被測物理量的一類器件，包括：流量計、皮拉尼真空計、非制冷紅外探測器等。因器件的工作涉及熱電轉換，所以熱學參數和電學參數是器件的兩類重要參數。...
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