近日，微電子所新技術開發部物聯網技術研發實驗室的毛海央團隊和集成電路先導工藝研發中心的周娜老師合作在納米森林的MEMS傳感器集成應用研究方面取得重要進展。 呼吸是支持人類生命活動中的重要過程。許多疾病和健康問題，例如：心臟病、肺炎、支氣管炎、呼吸暫停綜合征等，都會引起呼吸頻率和深度的變化。濕度傳感器可...
近日，微電子所集成電路先導工藝研發中心在納米森林等離激元光吸收效應及其微器件應用研究方面取得重要進展。基于以上問題，微電子所陳大鵬研究員課題組與長春光機所李紹娟研究員課題組、中北大學熊繼軍教授課題組合作，利用等離子體轟擊添加硅烷偶聯劑的聚酰亞胺，開發了一種納米森林結構的簡單制備工藝，該工藝與常規...
近日，微電子所集成電路先導工藝研發中心在納米森林的微機電系統（ MEMS ）傳感器應用研究上取得重要進展。濕度的監測與控制在氣象、農業、汽車、醫藥等行業具有重要意義。隨著MEMS技術的發展，基于MEMS工藝的電容式濕度傳感器因其在寬相對濕度范圍內具有較好的靈敏度和較好的抗干擾能力而受到廣泛關注。傳統的電容式濕...
皮拉尼（ Pirani ）真空計是基于熱傳導原理的真空計，基于傳統熱阻的皮拉尼真空技術在國際上已較為成熟，并有典型的真空傳感器產品。為了實現寬范圍量程的真空計量，往往需要通過組合多個真空計來實現。但由于傳統的真空計體積較大，而真空組合模塊的體積又進一步限制了其應用。中科院微電子所先導中心在微型MEMS皮拉尼...
MEMS器件是利用微細加工工藝實現的可以將力、熱、電、磁、光等多種物理量轉化為電學信號輸出的傳感器，按照其工作原理的不同，其形式與結構也具有較大差異。需要針對獨特結構的器件進行其專屬工藝的開發，甚至器件開發中所需的設備和工藝也千差萬別，從而使得產品開發周期過長，成本過高。據市場研究機構Yole Developmen...
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