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ASML官宣全新半導體技術:5nm工藝產能有望暴漲600%

稿件來源:IT之家 責任編輯:ICAC 發布時間:2020-06-03

  荷蘭ASML公司是全球唯一的EUV光刻機供應商,7nm及以下的工藝生產都要靠他們的設備。ASML公司宣布了另外一個新產品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,適用于5nm及更先進工藝,使得產能大漲600%。ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一臺驗證先進工藝生產出來的晶圓質量的系統,工藝越先進,檢測系統就越重要,它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時產生、控制九道電子束,所以產能提升了600%,可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。

  湃芯微電子血氧儀核心芯片研發成功,至多可降低國內血氧儀生產企業50%成本

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