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連續波UV-B激光二極管

稿件來源:今日半導體 責任編輯:ICAC 發布時間:2021-05-17

  來自名城大學、三重大學,旭化成公司和名古屋大學的研究小組實現了13.3kA/cm2的電流密度閾值,迄今為止,這是以300nm波長發射的UV-B激光二極管(LD)的最低閾值電流密度,他們的工作重點是優化波導厚度和包層結構。 

  研究人員認為對于實現連續波操作,小于10kA/cm2的閾值必不可少,另一個要求是工作電壓必須小于10V,UV-B波長范圍是280-315nm。

  在先前的工作中,研究小組發現氮化鋁鎵(AlGaN)結構UV-B激光二極管的一個問題是波導層的自發發射,這是器件性能的寄生現象,可以減少電荷載流子注入到激光器的有源區域。通過減薄波導以提高注入效率并優化包層以維持/增強激光區域的光學限制,可以提高最新器件的閾值。

  受實驗和模擬的啟發,研究人員使用金屬有機氣相外延(MOVPE)在AlGaN緩沖液上生產了一種優化的器件,位錯密度約為1x109 /cm2,沉積在經濺射和退火處理的AlN模板上,在n側的覆層是無意摻雜的(u-AlGaN),而在上部覆層中則摻雜了鎂,以提供p型導電性。

  器件制造過程使用電感耦合等離子體(ICP)臺面蝕刻和電子束蒸發來沉積釩/金/鈦/金n電極和鎳/鉑/金p電極。二氧化硅用于電隔離n電極和p電極,接觸墊由鈦/金組成。在四甲基氫氧化銨溶液中,采用等離子刻蝕和濕法刻蝕相結合的方法制備了無涂層鏡面。

  諧振器長度為2000μm,p電極寬度為10μm的激光二極管的激光閾值電流密度為14.2kA/cm2,而該小組先前報告的類似激光二極管的激光閾值電流密度為25kA/cm2。研究人員將這種改進歸因于增加的注射效率和光學限制。

  在一系列具有諧振器長度和p電極寬度的激光二極管的實驗中,研究人員表示為了進一步降低閾值電流,還需要研究其他因素。13.3kA/cm2閾值的器件具有2000μm諧振器和15μm寬的p電極。實驗準備涉及兩個器件,這些器件生長在底層AlGaN緩沖液上,位錯密度稍高,約為~3x109/cm2

  外延設計包括可變厚度的波導層(150nm和50nm)和上部包層,以及到10nm p-GaN接觸的兩個成分梯度步驟。在室溫下,相對于寄生亞峰,更薄的50nm波導具有更強的阱峰值發射。

  非必須副峰值是由于波導層引起的,因此可以期望減小波導的厚度來減小亞峰發射。當然,變薄波導會減少有源層中的光限制,模擬結果表明,樣品B的波導較薄,使得更多的光進入吸收層,降低了激光效率。相對于150nm波導結構的100/cm,光吸收估計為260/cm。

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