美國Axus技術公司宣布與復合光子公司（CP Display）建立合作伙伴關系美，加速將5μm像素以下的micro-LED推向大眾市場。

　　Axus和CP攜手合作，整合關鍵的晶圓級工藝，以實現CP下一代AR眼鏡的2μm像素間距、1080p microLED顯示器的大規模量產。具體來說，Axus將部署Capstone CMP系統，該系統集成了CMP后清潔功能，現晶圓平面化和表面制備工藝解決方案，以將microLED晶圓與高性能CMOS背板進行晶圓級鍵合。

　　為了加快開發速度，Axus和CP將在MicroLED創新中心成立該項目。百級無塵室設施占地大約15000平方英尺，這為Axus、CP和其他資本設備供應商提供了基礎設施。

　　Axus的CMP工藝能力是實現CP擁有專利申請、小像素間距、外延基板microLED集成工藝方案的關鍵。Capstone CMP系統提供了多個晶片的可重復性以及管芯/晶片內的平面性能，從而可靠地實現微型LED和CMOS背板晶片之間數百萬微米級的電接觸的結合。這滿足了關鍵的批量生產過程要求，即保證生產出的微型顯示模塊的可視化均勻性，這正是緊湊型、低功耗、高亮度的AR/MR近眼顯示應用的迫切需求。

　　自2020年初以來，Axus與CP合作開發了微型LED陣列與CMOS背板晶圓之間的晶圓級鍵合工藝集成。兩家公司表示，他們最新的合作伙伴關系表明了他們對推進微型LED顯示屏制造工藝和集成的承諾。

　　Axus表示，Micro-LED技術正在成為最有可能滿足AR / MR應用關鍵要求的顯示解決方案。制造工藝的創新對于降低成本和實現AR / MR頭戴式耳機商業化以及批量生產至關重要。