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富士膠片和住友化學擬于2021年供應新型EUV光刻膠

稿件來源:大半導體產業網 責任編輯:ICAC 發布時間:2020-10-21

(圖源:日經)

  據日經亞洲評論報道,富士膠片 (Fujifilm Holdings)和住友化學(Sumitomo Chemical)最早將于2021年開始供應用于下一代芯片制造的光刻膠,該材料可能有助于讓智能手機及其他設備朝更小、更節能化的方向發展。 據悉,這兩家日本公司正在研制一種特殊的EUV(極紫外)光刻膠。

  目前,日本JSR和信越化學株式會社等控制了全球大約90%的EUV光刻膠市場。新廠商的加入預計將加劇EUV光刻膠市場的競爭。其中,富士膠片將投資45億日元(4260萬美元)用于日本靜岡縣的生產設備,該廠最早將于明年開始量產。該公司表示,下一代光刻膠技術有助于減少殘留物,從而提高芯片的良率。與此同時,住友化學計劃在2022財年之前,為大阪的一家工廠投入從研發到生產的全部光刻膠產能。報道指出,該公司在傳統光阻劑市場上擁有巨大的份額,因而該公司已與一家大型制造商達成了一項初步供應協議。目前市場上最先進的芯片采用5納米工藝,臺積電等廠商正致力于將3nm制程商業化,而解決EUV光刻膠的難題則是推進芯片制造技術的最關鍵途徑。

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