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GAA器件工藝PDK與標準單元庫
 研究內容:
       研究納米尺度的FinFET、GAA等先進器件的版圖依賴效應LDE、寄生效應、尺寸漲落等物理效應研究,構建工藝融合器件模型、PDK和標準單元庫,集成電路設計參考流程等設計與制造協同優化技術方案。