三星電子（Samsung Electronics）2020 年 3 月 25 日宣布，已經(jīng)出貨 100 萬業(yè)界首款 10nm EUV級(jí)（D1x）DDR4 DRAM模組，并完成全球客戶評(píng)估，這為今后高端 PC、手機(jī)、企業(yè)級(jí)服務(wù)器等應(yīng)用領(lǐng)域開啟新大門。

　　EUV（極紫外光刻）工藝是目前世界上最先進(jìn)的芯片制造工藝，EUV光刻機(jī)也被認(rèn)為是完成7nm以下制程的重要途徑。三星率先將EUV工藝用到DRAM內(nèi)存顆粒的生產(chǎn)上，可以在精度更高的光刻中減少多次圖案化的重復(fù)步驟，并進(jìn)一步提升產(chǎn)能。

　　三星表示，將從第四代 10nm級(jí)（D1a）DRAM或高端級(jí)14nm級(jí) DRAM開始全面導(dǎo)入 EUV，明年基于 D1a大規(guī)模量產(chǎn)DDR5和LPDDR5內(nèi)存芯片，預(yù)計(jì)會(huì)使 12 英寸晶圓的生產(chǎn)率翻番。

　　雖然目前支持 DDR5內(nèi)存的PC平臺(tái)還沒有出現(xiàn)，不過內(nèi)存芯片卻在各大存儲(chǔ)器大廠的推動(dòng)下逐漸開始接近上市。三星量產(chǎn)的第一代EUV DDR5 DRAM 單芯片容量為 16Gb（2GB），地點(diǎn)是平澤市的 V2線。

　　除了 10nmEUV 工藝的存儲(chǔ)芯片外，三星也正在推進(jìn)5nm及以下制程的EUV工藝。外媒報(bào)道稱，三星已經(jīng)從半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商那里訂購了5nm 工藝生產(chǎn)的相關(guān)設(shè)備，目前已經(jīng)開始在華城 V1 工廠內(nèi)建立了一條 5nm 的晶圓代工生產(chǎn)線。據(jù)悉相關(guān)的設(shè)備組裝需要兩個(gè)多月，按照進(jìn)度來看，今年 6 月份以前，三星應(yīng)該能夠安裝完所有的設(shè)備。三星將在今年年底進(jìn)行 5nm EUV 工藝的量產(chǎn)。在三星 5nm 正式量產(chǎn)后，將負(fù)責(zé)高通下一代 5nm 旗艦芯片和 X60 5G 基帶芯片的生產(chǎn)。

　摘譯自：

　　https://www.samsung.com/semiconductor/newsroom/news-events/samsung-announces-industrys-first-euv-dram-with-shipment-of-first-million-modules/