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k-Space為現場計量工具增加了新的配件

稿件來源:今日半導體 責任編輯:ICAC 發布時間:2021-01-20

  位于美國密蘇里州德克斯特市的k-Space Associates公司為其計量工具增加了一個新的配件kSA Insight。美國k-Space公司作為原位、在線和離線測試設備的主要制造商,主要為半導體、薄膜材料和光伏產業的研究機構和制造商提供專業的材料性能測試設備。

  該工具允許研究人員和操作人員從k-Space軟件中實時查看晶圓和壓板。成像系統采用高分辨率彩色攝像機,并與所有k-Space薄膜計量軟件兼容,即插即用。

  首席執行官Darryl Barlett表示:“一些客戶要求在沉積過程中能夠從電腦屏幕上看到他們的晶圓和壓盤,因此我們設計了這個工具,以便與他們現有的k-Space軟件無縫集成。說。無論運行的是kSA 400、kSA BandiT、kSA MOS還是kSA ICE,都可以使用此插件在電腦上快捷地查看發熱板和晶圓。”

  客戶可以調整配件,以適應不同大小的視口,而且變焦鏡擁有一個大的變焦范圍,可以在較大距離范圍內工作。實時視頻可以放大或縮小,并且運用k-Space軟件可以在任何時候捕捉和存儲全分辨率彩色圖像。 

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