日本索尼公司已將其彎曲鏡面垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）工藝擴展到了約515-518nm的綠色波長。在先前的工作中，索尼生產(chǎn)了具有曲面鏡后反射器的低閾值445nm藍色VCSEL。

　　曲面鏡通過減少衍射效應(yīng)而允許更長的腔體長度。相對于分布式布拉格反射器（DBR），為了進行熱量管理，需要更長的長度以利用GaN更高的導(dǎo)熱率。索尼的研究人員指出大部分帶有顯示器的設(shè)備會發(fā)出很寬的波長范圍的光，但只有一小部分可見，這會浪費大量輸入~率。他們在視網(wǎng)膜掃描顯示器等應(yīng)用中使用高方向性、低~耗的VCSEL來降低較低的損耗提供足夠的~率。

　　綠色VCSEL的外延材料由在（20-21）n-GaN襯底上的金屬有機化學(xué)氣相沉積（MOCVD）III-N層組成。有源區(qū)由被GaN勢壘層隔開的四個氮化銦鎵（InGaN）量子阱組成。底部曲面鏡的制作方法是，將晶片減薄，然后應(yīng)用樹脂盤加熱以換為液滴，然后進行反應(yīng)離子蝕刻。樹脂滴充當(dāng)蝕刻的犧牲掩模，從而形成透鏡形的曲面。底部反射鏡用14對Ta2O5 / SiO2完成。

　　最終將VCSEL切成小方塊，并將p面朝上安裝在5.6mm TO-CAN封裝中，而沒有安裝底座。測試是在25°C的Peltier冷卻器上使用VCSEL以連續(xù)波模式進行的。激光閾值電流為1.8mA，相當(dāng)于14.4kA / cm2，墻上插頭的效率小于0.1％。

　　初始發(fā)射峰在515.2nm處，當(dāng)電流在5-6mA范圍內(nèi)時躍升至517.9nm。 2.7nm躍點表明有效腔長度為18.6μm。隨著注入電流的增加，輸出光變得更加偏振：1mA時為0.14，8mA時為0.93。偏振角相對于III族氮化物晶體結(jié)構(gòu)是固定的并且在a方向（[-12-10]）。遠場發(fā)射模式近似為高斯，半峰全寬（FWHM）發(fā)散度約為9°。

　　原文題目：Green vertical-cavity surface-emitting laser enabled by curved mirror process　　

　　原文來源：http://www.semiconductor-today.com/news_items/2020/may/sony-070520.shtml