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香港中文大學(xué)蕭旭東教授來(lái)微電子所進(jìn)行學(xué)術(shù)交流

2011-09-29

微電子所6500V超高壓IGBT研制取得重要突破

2011-09-26

中國(guó)科學(xué)院微電子研究所IGBT團(tuán)隊(duì)在高壓高功率IGBT（絕緣柵雙極晶體管）研制方面，繼上半年1700V系列之后，近期在6500V系列超高壓領(lǐng)域再次取得關(guān)鍵技術(shù)突破。 該階段性成果標(biāo)志著微電子所IGBT...

微電子所“等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)”在第二十屆全國(guó)發(fā)明展上榮獲金獎(jiǎng)

2011-09-21

微電子所博士生劉杰榮獲等離子體注入與沉積國(guó)際會(huì)議優(yōu)秀學(xué)生論文獎(jiǎng)

2011-09-20

2011年9月8日至12日，第十一屆等離子體注入和沉積國(guó)際會(huì)議（PBII&D）在哈爾濱召開，我所微電子設(shè)備技術(shù)研究室（八室）博士生劉杰在大會(huì)上作了題為《A Novel Method to Texture Silicon for S...

江綿恒副院長(zhǎng)到微電子所調(diào)研

2011-09-06

9月4日，中國(guó)科學(xué)院副院長(zhǎng)江綿恒到微電子所調(diào)研。江綿恒副院長(zhǎng)一行參觀了微電子所集成電路工藝凈化間和實(shí)驗(yàn)室，聽取了科研成果展示介紹，了解了微電子所牽頭承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)...