在剛剛閉幕的第二十屆全國發明展覽會上，微電子所微電子設備技術研究室（八室）參展的“等離子體增強原子層沉積系統（ALD）”憑借多項原創發明喜獲展覽會金獎，成為本屆展會中科院系統唯一獲此殊榮的項目。

　　本屆發明展覽會經科技部批準，由中國發明協會、山東省人民政府、威海市人民政府主辦，以“技術創新、改善民生、協調發展”為主題，共設有400個展位，展出了近1600項優秀專利發明和科技成果。

　　經北京市發明協會和首都科技條件平臺推薦，由微電子所八室主任夏洋研究員領銜的研究團隊共有兩項成果參展，其中“等離子體增強原子層沉積系統”憑借多項重要發明專利得到了評委會多位專家青睞，榮獲展覽會金獎。另一項目“高亮度LED圖形化襯底刻蝕系統”也收獲銅獎。

收獲金獎的“等離子體增強原子層沉積系統”

獲獎證書

獎牌