2011年 3月18日,中央組織部副部長、中央人才工作協調小組副組長李智勇在科技部副部長張來武、中科院副院長陰和俊的陪同下,到微電子所調研。

李智勇副部長(中)、張來武副部長(左)、陰和俊副院長(右)
5月9日,中共中央政治局委員、國務委員劉延東一行在江蘇省委書記羅志軍、省長李學勇的陪同下視察中國物聯網研究發展中心(籌)。

8月27日,昆山分所正式成立,開創了昆山院地合作的新局面。
9月4日,中科院副院長江綿恒到微電子所調研。
微電子所與新加坡通信資訊研究院聯合開發出我國首個符合中國頻譜規劃和標準的超寬帶無線音視頻傳輸系統。
微電子所研制成功國內第一個低溫可充氣真空輻射系統。

在第二十屆全國發明展覽會上,微電子所微電子設備技術研究室參展的等離子體增強原子層沉積系統(ALD)憑借多項原創發明獲展覽會金獎。

2012年
5月23日,北京市科學技術委員會發布“關于公布2011年度認定北京市重點實驗室和北京市工程技術研究中心名單的通知”,“新一代通信射頻芯片技術北京市重點實驗室”落戶微電子所。

微電子所開發研制的科研成果——便攜式電子醫療隨訪儀“易醫箱”,成功在北京智能社區示范工程中應用。

微電子所在22納米CMOS關鍵技術先導研發上取得突破性進展,在國內首次采用后高K工藝成功研制出包含先進的高K/金屬柵模塊的22納米柵長MOSFETs,達國內領先、世界一流水平。
微電子所研制成功國內首款異質結背接觸原型太陽能電池。
2013年
2月21日,微電子所參與完成的“超大規模集成電路65-40納米成套產品工藝研發與產業化”項目榮獲“2012年度北京市科學技術獎一等獎”。
3月4日,中科院副院長施爾畏調研微電子所材料先導專項項目。

9月9日,中科院微電子所、清華大學、復旦大學、中科院上海微系統所與武漢新芯集成電路制造有限公司簽署一項IP聯合授權協議。根據該協議,武漢新芯將獲得這四家研發機構近1500件知識產權組成的聯合專利池的整體使用權。這是國內集成電路領域第一次聯合專利池整體向制造企業轉移、進行產業化應用開發。
10月31日,中國科學院大學微電子學院揭牌成立。這是國科大目前唯一一所專業學院,在此基礎上還成立了國科大首個二級學科群——微電子學科群學位評定委員會。

微電子所在國內首次研發出用于16納米技術代的物理柵長在25納米的體硅FinFETs器件,大大縮小了我國在該領域與國際最先進水平的差距。