歷史拾貝
中國科學(xué)院微電子中心階段（1986－2003年）之三
2月，微電子中心作為主要成員，與清華大學(xué)微電子所、北京大學(xué)微電子所、中科院半導(dǎo)體所組建“國家北方微電子基地”，成立“深亞微米集成電路技術(shù)國家實(shí)驗(yàn)室”。同年還與香港科技大學(xué)共同創(chuàng)造微電子聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室。
吳德馨院士與香港科技大學(xué)理學(xué)院院長高秉強(qiáng)（前排左）簽署協(xié)議，成立微電子聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室
11月26日，“0.8微米CMOS集成電路芯片制造技術(shù)” 獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)?！靶陆Y(jié)構(gòu)器件及微細(xì)加工研究” 獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)?！癡DMOSFET用高陰厚層硅外延片研制” 獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎(jiǎng)。
12月，“0.8微米CMOS集成電路芯片制造技術(shù)”、“HBT和HEMT基礎(chǔ)技術(shù)研究”、 “亞微米技術(shù)研究”、 “大電流VDMOS器件研究開發(fā)”分獲國家“八五”科技攻關(guān)重大成果獎(jiǎng)。
12月，“高衍射效率二元光學(xué)器件的設(shè)計(jì)與制備技術(shù)”獲國家科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)。
微電子中心獲得微電子學(xué)與固體電子學(xué)博士學(xué)位授予權(quán)，標(biāo)志著中心研究生教育又邁上新的臺階。
1997年
12月5日，“砷化鎵材料、器件與電路”、 “萬門高速CMOS門陳列及其專用電路”獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
12月， “0.8微米CMOS集成電路芯片制造技術(shù)”獲國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
微電子中心所屬的前、后工藝線、電子廠、泰龍公司等單位，生產(chǎn)銷售的半導(dǎo)體器件與機(jī)電產(chǎn)品年度創(chuàng)收近2000萬元。
2001年
微電子中心作為中科院知識創(chuàng)新工程試點(diǎn)單位，根據(jù)國家和行業(yè)發(fā)展需求再次對研究方向進(jìn)行凝練，確定六個(gè)研究方向，分別為：深亞微米集成電路關(guān)鍵工藝技術(shù)、SOI/CMOS集成電路技術(shù)、基于“IP”庫的專用集成電路設(shè)計(jì)、高性能專用集成電路設(shè)計(jì)、深亞微米微細(xì)加工技術(shù)、化合物半導(dǎo)體器件與電路。
2月，“亞微米深亞微米CMOS用薄層外延硅材料”、 “0.1μmGaAsHFET器件及深亞微米加工技術(shù)”均被評為“九五”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)計(jì)劃優(yōu)秀科技成果。
2002年
4月12日，中科院院長、黨組書記路甬祥視察微電子中心。
11月，中科院批準(zhǔn)設(shè)立非法人事業(yè)機(jī)構(gòu)中國科學(xué)院EDA中心，面向全國開展技術(shù)服務(wù)。
12月，“0.18 / 0.1微米CMOS集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究”獲北京市科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)。
微電子中心和青島青智等企業(yè)及自然人合作，成立北京中科微電子技術(shù)有限公司。公司立足于面向國內(nèi)市場，與其它半導(dǎo)體廠商合作，設(shè)計(jì)和開發(fā)有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路產(chǎn)品，并在電腦周邊、音頻產(chǎn)品、汽車電子等產(chǎn)業(yè)形成自己的集成電路產(chǎn)品線。