1991年 國務(wù)院學(xué)位委員會批準(zhǔn)微電子中心“半導(dǎo)體器件與微電子學(xué)”專業(yè)的碩士學(xué)位授予權(quán)。使研究生教育培養(yǎng)工作進(jìn)入獨(dú)立招生階段。
3月，“光電、模擬和I2L相容的傳感器集成技術(shù)研究”獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎。“電子程序快門專用集成電路B1218” 獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎。
10月，“VDMOS器件技術(shù)開發(fā)和產(chǎn)品系列定型”獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎。
11月，吳德馨當(dāng)選為中國科學(xué)院院士（學(xué)部委員）。
1992年
10月，“大電流功率VDMOS場效應(yīng)器件KWP50N05 KWH50N05”、 “觸摸開關(guān)TC9135”分獲1992年度國家級新產(chǎn)品證書。
10月26日，“三維微結(jié)構(gòu)純位相片的設(shè)計(jì)與制作”、 “專用、半專用電路設(shè)計(jì)與制造”分獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎。
10月26日，“1－1.5微米新工藝及新器件結(jié)構(gòu)的探索性研究”、 “高電子遷移率晶體管的預(yù)研” 、“IAAS1201 PCB級故障自檢專用集成電路”分獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步三等獎。
1993年
3月，中央政治局委員、國務(wù)院副總理鄒家華在中科院院長周光召等領(lǐng)導(dǎo)同志陪同下，視察微電子中心，并題詞：“艱苦創(chuàng)業(yè)成果多，再接再勵志氣高，科技產(chǎn)銷結(jié)合緊，開拓前進(jìn)路益寬。”
10月23日，“多功能磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)”、 “雙線制煙霧報(bào)警器電路KW26201、KW26202”分獲中科院科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎。
12月，“熊貓集成電路CAD系統(tǒng)”獲國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步一等獎。
1994年
3月，“實(shí)用型分布重復(fù)投影光刻技術(shù)”榮獲電子部等單位十大科技成果獎。
11月，“電子束摻雜技術(shù)研究”榮獲中國科學(xué)院科技進(jìn)步三等獎。
1995年
自主開發(fā)成功國內(nèi)首個0.8微米成套工藝，進(jìn)行0.5微米基礎(chǔ)工藝預(yù)研。“0.8微米集成電路制造技術(shù)”入選當(dāng)年“國內(nèi)電子科技十大新聞”。
吳德馨院士在八五攻關(guān)項(xiàng)目0.8微米LSI工藝技術(shù)驗(yàn)收會上作報(bào)告
