????薄膜晶體管（TFTs）是大面積電子設(shè)備中的重要組成部分，被廣泛應(yīng)用于各種顯示設(shè)備，如液晶顯示器（LCD）、有機(jī)發(fā)光二極管顯示器（OLED），傳感器和太陽能電池等電子設(shè)備。更重要的是，TFTs正在被研發(fā)應(yīng)用于大規(guī)模集成電路，尤其是存儲(chǔ)器。

近日，微電子所重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室劉明院士團(tuán)隊(duì)在Nature旗下的期刊Nature Electronics（自然電子學(xué)）發(fā)表了綜述論文“Thin-film transistors for large-area electronics”。該文回顧了用于大面積電子設(shè)備的薄膜晶體管的發(fā)展，探討了基于非晶硅(α-Si)、低溫多晶硅(LTPS)、非晶氧化物(α-IGZO)半導(dǎo)體和有機(jī)半導(dǎo)體等不同材料的薄膜晶體管在顯示、傳感、數(shù)字電路等領(lǐng)域的應(yīng)用，并重點(diǎn)討論了薄膜晶體管在DRAM等新興應(yīng)用中的潛在用途。文章指出，薄膜晶體管在平板顯示器和X射線檢測(cè)器等現(xiàn)有應(yīng)用中已經(jīng)取得成功，未來在存儲(chǔ)器、可穿戴設(shè)備和其他新興領(lǐng)域的應(yīng)用潛力巨大。

微電子所耿玓研究員、中山大學(xué)王凱教授為共同第一作者，微電子所李泠研究員和劉明院士為通訊作者。

全文鏈接：https://www.nature.com/articles/s41928-023-01095-8

圖1單晶、非晶及氧化物半導(dǎo)體的原子排列、能帶結(jié)構(gòu)和器件結(jié)構(gòu)

圖2薄膜晶體管在顯示及圖像傳感等應(yīng)用方面的示意圖

圖3薄膜晶體管在非顯示應(yīng)用方面的代表性應(yīng)用