5月19日，由中國科學院微電子研究所于2014年孵化的高端半導體質量控制設備公司——深圳中科飛測科技股份有限公司（以下簡稱“中科飛測”，股票代碼“688361”）在上海證券交易所科創板掛牌上市。中科飛測是微電子所科技成果轉化的第三家上市公司。 

　　自成立以來，中科飛測始終堅持自主研發和自主創新的原則，依托多年在光學檢測技術、大數據檢測算法和自動化控制軟件等領域的深耕積累和自主創新，實現多款高端半導體質量控制設備量產，產品主要包括：無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等產品，已應用于國內28nm及以上制程的集成電路制造產線，打破在半導體質量控制設備領域國際設備廠商對國內市場的長期壟斷局面。與此同時，中科飛測積極承擔了多個國家省部級重大科研項目，助力國內集成電路產業領域關鍵技術攻關與突破。 

　　本次首次發行A股并上市，標志著中科飛測的發展迎來了新的起點。下一步，中科飛測將繼續堅持自主研發和創新，以高端半導體質量控制設備為目標，推動我國檢測和量測設備國產化發展，為我國集成電路產業發展做出新的更大貢獻。