近期,由中國科學院微電子研究所、國科大微電子學院聯合創辦的國際全英文學術期刊《Journal of Microelectronic Manufacturing》(JoMM,國際標準期刊編號ISSN:2578-3769)成功出版了第二卷第二期。
本期專題文章如下:

EUV Lithography: State-of-the-Art Review
Nan Fu, Yanxiang Liu, Xiaolong Ma et al. 2019 JoMM Volume 2, Issue 2: 19020202
JoMM 旨在發表集成電路制造領域中從實驗室理論階段到工業大規模量產階段的研究成果,內容包括但不限于 Design、 Process、 Metrology & Yield Control、 Packaging、 Materials、 Equipment 等方面。作為開放閱覽電子學術期刊, JoMM 致力于實現快速發表,稿件錄用后即時上線,可閱覽、下載、引用。目前,JoMM正在進行2019年征稿,并免版面費,詳情請查看官網http://www.jommpublish.org/.
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