一、項目名稱 

　　中國科學院微電子研究所 JBX-6300FS系統升級改造技術服務 

　　二、單一來源采購理由說明 

　　我所在研的“X射線衍射光譜與成像納米器件集成制造”課題主要研究X射線衍射光譜與成像納米器件集成制造。該課題需采用電子束光刻、X射線光刻和微電鍍技術制作X射線衍射光譜與成像納米器件。而電子束光刻和X射線光刻掩模則需要依賴中國科學院微電子研究所原有的大型JEOL JBX-6300FS電子束光刻系統，是必不可少的。但是，該大型電子束光刻系統的副掃描器僅為12.5MHz，且位置偏轉數模放大器和控制中央處理器性能較差，不能滿足該課題的需求，需要將其升級改造。 

　　捷伊歐（JEOL）半導體貿易（上海）有限公司是我所JEOL JBX-6300FS電子束光刻系統生產廠商在中國的唯一國內代理商，因此只能采用單一來源方式采購。 

　　三、該項目擬從捷伊歐（JEOL）半導體貿易（上海）有限公司進行采購。 

　　四、征求意見期限從2018年12月3日至2018年12月7日止。 

　　本項目公示期為2018年12月3日至2018年12月7日。有關單位和個人如對公示內容有異議，請在2018年12月7日15:00（北京時間）之前以實名書面（包括聯系人、地址、聯系電話）形式反饋至中國科學院微電子研究所，地址：北京朝陽區北土城西路3號，郵編：100029，聯系電話：82995706。  

                                                                                                                        中國科學院微電子研究所 

　　                                                                                                                            2018.12.3