國家科學技術(shù)獎勵大會于2018年1月8日上午在北京人民大會堂隆重舉行。微電子所與武漢新芯集成電路制造有限公司、復旦大學共同完成的“22-14納米集成電路器件工藝先導技術(shù)”項目獲得2017年國家技術(shù)發(fā)明二等獎。 

　　“22-14納米集成電路器件工藝先導技術(shù)”項目主要完成人為葉甜春、徐秋霞、陳大鵬、殷華湘、霍宗亮、張衛(wèi)。項目以國家科技重大專項02專項支持為契機，針對核心器件微縮過程中的一系列關鍵性的短溝道效應和性能挑戰(zhàn)，開展了自主創(chuàng)新研發(fā)，攻克了后高k金屬柵、22納米平面器件集成技術(shù)、14納米三維FinFET關鍵技術(shù)等技術(shù)難關，創(chuàng)新發(fā)明多項關鍵技術(shù)，突破了納米集成電路制造及國產(chǎn)裝備配套工藝過程中的重要技術(shù)瓶頸。項目提出了“專利導向下的研發(fā)戰(zhàn)略”，形成了成體系的自主知識產(chǎn)權(quán)和關鍵技術(shù)，在國內(nèi)外產(chǎn)生廣泛影響。在推廣應用方面，成功完成向國內(nèi)相關制造及裝備企業(yè)的許可和轉(zhuǎn)讓，取得顯著成效，有力提升了相關集成電路高端產(chǎn)品和先進裝備的技術(shù)水平，對我國集成電路行業(yè)全面發(fā)展具有重要推動作用。