2016年12月17日，微電子所產學研融合協同育人實踐平臺迎來首批課程實訓學員。該批學員來自于選修中國科學院大學《半導體工藝與制造技術》課程的130多名研一學生，平臺承載了該課程的集成電路工藝課程實訓環節，累計6學時。.

　　微電子所產學研融合協同育人實踐平臺設置的集成電路工藝課程模塊由集成電路先導工藝研發中心承擔。先導中心擁有凈化面積約3000平方米的8英寸研發工藝線。平臺采用工業標配設備，實行工業化管理，可為國內外企業提供CMOS集成電路和MEMS器件產業技術的開發和小批量生產。依托平臺開展實訓，在加深同學對課堂所授理論知識的理解的基礎上，可以提供真實的身臨其境的工業環境，幫助同學們實地了解工藝工程師的工作模式、氛圍和意義，激發同學對學業和個人職業的認同感。

　　本次課程實訓分為兩個環節。首先由平臺一線工程師提供關于生產線工作規程、質量控制、沾污控制、安全和超凈間事故應急處置措施等內容的培訓，使同學們對工藝線建立初步感性認識。然后，實訓同學穿上超凈服走進工藝線，實地系統地學習集成電路制造的每一個工藝模塊，包括離子注入、擴散、濕法清洗、外延生長、薄膜原子層淀積（ALD）、低壓化學氣相淀積（LPCVD）、等離子體干法刻蝕、光刻、化學機械平坦化、濺射與電子束蒸發、等離子體化學氣相淀積（PECVD）、快速熱退火（RTP）、薄膜量測及電學性能測量等，使同學們將課堂知識與實際工藝聯系起來，加深了對半導體工藝與制造技術課程內容的理解。

　　實訓過程中，同學們踴躍提問，和實訓老師積極互動，在實踐中學習，在實訓中成長，同學們對實訓效果非常滿意。

　　微電子所產學研融合協同育人實踐平臺提供工藝、設計、測試、封裝、裝備等多模塊全流程實訓環節。平臺參考集成電路人才工程化培養模式，建立了一套適合集成電路產業發展的工程化課程體系和實訓體系，致力于提高集成電路人才的工程實踐能力。面向中國科學院大學各學院相關專業領域及跨學科專業領域開放，做好課程實訓支撐工作，實現資源共享。同時，該平臺還面向其他高校開放，針對本科、碩士、博士等各層次人才培養均設置了相應的實訓課程。面向有志于從事微電子領域工作的人員，不定期舉辦短期專題性培訓班。通過設置多層次專業化的培養和培訓方案，為我國集成電路領域人才培養及交叉復合型人才培養做出貢獻。

實訓老師為同學們實地講解工藝線