10月12日，由中國科學院集成電路創新研究院（籌）工藝總體部策劃并組織的“集成電路先導技術系列研討會”第二次會議在微電子所舉辦。微電子所黨委副書記（主持工作）、副所長、集成電路創新研究院籌建組副組長戴博偉出席并致辭。所長助理、先導中心主任王文武，北京大學劉曉彥教授，復旦大學微電子學院解玉鳳副教授，睿初科技（深圳）有限公司肖艷軍產品經理，明導（上海）電子科技有限公司技術主管杜春山，新思科技（上海）有限公司經理孟曉東，微電子所韋亞一、謝常青、粟雅娟、陳睿、張利斌、蘇曉菁等專家和技術骨干參與研討。 

　　韋亞一研究員主持研討會。他對到訪的學者和技術專家表示熱烈歡迎，希望大家暢所欲言，加強合作與交流。粟雅娟副研究員介紹了會議背景，簡要介紹了中科院微電子所的發展歷程、組織架構、人才培養、科研方向和研究成果，以及中國科學院集成電路創新研究院（籌）的籌建思路、未來規劃和任務使命，介紹了在設計與工藝協同優化研發方向的未來研究趨勢和研討會主題。陳睿副研究員介紹了微電子所期刊JoMM，期刊致力于出版先進微電子制造技術，以高質量的SCI期刊為目標，涵蓋了從早期學術理論、實驗到工業化制造應用半中導體制造科學與技術的研究。 

　　劉曉彥以7納米或以下節點納米線與納米片結構器件為例，介紹了基于TCAD的器件/電路協同優化設計平臺、自熱效應及其耦合可靠性驅動下的集成電路特性評估方法等方面的研究進展。解玉鳳介紹了探索基于人工智能的方法來進行半導體制造良率分析、良率預測的相關方法和關鍵難點，以及人工智能方法在新器件研發過程中的加速效果。肖艷軍介紹了先進技術節點面臨的挑戰，以及睿初科技的解決方案。杜春山講解了如何在設計階段，通過建立適當的模型和方法，解決和避免制造過程中潛在的影響良率的設計問題，介紹了在良率診斷和熱點定位階段涉及的先進DFT技術。孟曉東介紹了目前業內唯一完整的全流程DTCO解決方案，以及在對先進節點開發過程的各個環節中精確仿真的應用示例。 

　　與會人員還針對創新研究院未來發展，特別是先進節點下的設計與工藝協同優化技術方向進行了深度技術探討和交流，在未來研發、院校合作、企業產學研合作、基礎研究與應用研究、前瞻性與基礎性、研究與平臺等方面暢所欲言，對創新研究院的發展提出了非常有價值的意見建議。

參會嘉賓合影

韋亞一歡迎致辭、粟雅娟主持會議

劉曉彥（左1）、解玉鳳（右1）、肖艷軍（左2）、杜春山（右2）、孟曉東（左3）作報告以及會議討論