3月18日，新加坡南洋理工大學等離子創新實驗室執行總裁陳家陞博士來微電子所進行學術交流并作學術報告。微電子所科研人員、研究生共30余人參加了交流活動。  

　　陳家陞在報告中詳細介紹了半導體材料基因組中先進等離子體源和診斷系統的發展近況，展示了新加坡南洋理工大學等離子體處理創新實驗室、等離子體源和應用中心的科研工作，并就等離子清洗、無損檢測及微電子設備相關技術問題同與會人員就進行了深入交流，現場氣氛活躍，學術氣息濃厚。陳家陞還在微電子所科研人員的陪同下實地參觀了微電子儀器設備研發平臺和集成電路先導工藝研發平臺。 

　　陳家陞現任新加坡南洋理工大學等離子源與應用研究中心首席研究員兼研究生導師，研究內容涉及高密度等離子原子化診斷與材料處理以及硅太陽能電池制造應用。 　  

交流會現場 

參觀微電子儀器設備研發平臺