日前，由中科院微電子所研究員宗明成發(fā)起，中國科學(xué)院微電子研究所主辦，中國科學(xué)院光電研究院協(xié)辦的第一期先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)培訓(xùn)班成功舉行，60余名來自微電子所和光電院的先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域科研人員參加了培訓(xùn)并順利結(jié)業(yè)。

　　宗明成研究員承擔(dān)國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”相關(guān)項(xiàng)目以來，致力于先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)的國產(chǎn)化研究。為更好地完成國家科技重大專項(xiàng)，使國內(nèi)先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)快速成長，特組織發(fā)起了此次培訓(xùn)。培訓(xùn)班為期4天，課程包括國際先進(jìn)光刻機(jī)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢、先進(jìn)光刻機(jī)整機(jī)及關(guān)鍵子系統(tǒng)的相關(guān)知識、硅基CMOS集成電路工藝等內(nèi)容，期間，學(xué)員還參觀了中國科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心工藝線。

　　此次培訓(xùn)班的順利開展得到了上級領(lǐng)導(dǎo)的重視和大力支持。中國科學(xué)院微電子研究所所長葉甜春、中國科學(xué)院光電研究院副院長王宇、中國科學(xué)院微電子研究所人教處處長趙永鳳參加了培訓(xùn)班結(jié)業(yè)儀式。儀式上，葉甜春所長對此次培訓(xùn)班給予了充分肯定，他希望學(xué)員日后要認(rèn)真學(xué)習(xí)，不斷提高專業(yè)技術(shù)水平，在工作崗位上為國家重大技術(shù)攻關(guān)任務(wù)做出更大貢獻(xiàn)，他還建議今后舉辦更多此類高水平的培訓(xùn)課程，不斷對科研人員進(jìn)行專業(yè)培訓(xùn)。結(jié)業(yè)式上，葉甜春所長和王宇副院長向?qū)W員們頒發(fā)了培訓(xùn)證書。

　　在課程評估與反饋意見表中，大多數(shù)學(xué)員表示參加此次培訓(xùn)收獲很大，對今后的工作將會有很大的幫助，希望今后能夠參加更多此類高水平的培訓(xùn)課。