“IC創新獎”由中國集成電路創新聯盟（大聯盟）于2018年創立，旨在重點鼓勵集成電路技術創新、成果產業化、產業鏈上下游合作，以體現大聯盟倡導全產業鏈合作的理念。獎項由來自國內集成電路全產業鏈各領域的領軍人才、戰略科學家以及金融專家等組成的提名委員會，采取“委員獨立”提名制，并結合頂級權威專家“獨立評審”產生。獎項分為技術創新獎、成果產業化獎、產業鏈合作獎和產業創新突出貢獻獎。IC創新獎評選活動已成功舉辦四屆，共有全國380余家單位的近600個優秀項目（產品、技術、合作團隊或個人等）參與評選，累計頒發獎項80余項。其中，第四屆“IC創新獎”征集活動面向全行業深度挖掘優秀項目，共征集126家單位的159個項目，最終共有16個項目和4位個人獲獎。第四屆“IC創新獎”于2021年3月20日在大聯盟組織召開的“2021集成電路產業鏈協同創新發展交流會”上正式頒布。微電子所參股企業深圳中科飛測科技股份有限公司的“SPRUCE系列無圖形晶圓表面缺陷光學檢測設備”項目從眾多項目中脫穎而出，最終斬獲“IC創新獎”的技術創新獎。 

　　深圳中科飛測科技股份有限公司成立于2014年12月31日，總部位于深圳，面積7000平方米，其中有1250平方米的萬級潔凈廠房和200平方米的光學實驗室。在北京和深圳均設立研發中心，并在全國各地設有產品應用服務中心。最具代表的產品和服務有表面缺陷檢測系統SPRUCE系列，三維形貌量測系統SKYVERSE CYPRESS系列，智能視覺缺陷檢測系統BIRCH系列，3C電子行業精密加工玻璃手機外殼檢測系統 TOTARA系列。 

　　在國家科技重大專項的大力支持下，中科飛測研發團隊經過多年的不懈努力，成功自主研發出應用于90-28nm節點的SPRUCE系列無圖形晶圓表面缺陷光學檢測設備。目前產品銷量突破50臺套，客戶群體覆蓋國內數十家主要半導體廠商，并成功銷往中國臺灣地區。SPRUCE系列產品的成功，一舉打破了國外供應商的長期壟斷，實現了該類設備的國產化與產業化，必將助力國內半導體制造產業及檢測設備的崛起與騰飛。 

SPRUCE系列設備