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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 曹鶴
  • 性別： 男
  • 職稱： 高級工程師
  • 職務： 
  • 學歷： 博士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： caohe@ime.ac.cn
  • 所屬部門： EDA中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    2004.9-2011.7，中國科學院力學研究所，一般力學與力學基礎，博士

    2000.9-2004.7，中國科學技術大學，力學與機械工程系，學士

    工作簡歷

    2020.7-至今，中國科學院微電子研究所，高級工程師

    2011.7-2020.6，中國科學院微電子研究所，助理研究員

    社會任職：

    研究方向：

  • 芯粒異構集成芯片翹曲及熱應力仿真與EDA，芯片可靠性驗證等

    承擔科研項目情況：

  • ????參與國家科技重大專項子課題、國家自然科學基金、中科院先導A類項目、北京市科技創新基地培育與發展工程子專項、企業橫向課題等10余項。

    ????1.?國家其他任務：關鍵EDA工具，2022.9 -2026.9，項目主要參與人員

    ????2.中國科學院先導A項目：集成電路基礎器件仿真軟件與系統集成設計，2022.11 -2025.10，項目主要參與人員?

    代表論著：

  • 1.?Chenghan Wang, Qinzhi Xu, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu, Daoqing Zhang, Zhiqiang Li; A?

    multiscale anisotropic thermal model of chiplet heterogeneous integration system, IEEE?

    TRANSACTIONS ON VERY LARGE SCALE INTEGRATTION SYSTEMS, 32(1) 178-189 (2024). (SCI,?

    IF=2.8)

    2.?Chuanjun Nie, Qinzhi Xu, Chenghan Wang, He Cao, Jianyun Liu, Zhiqiang Li; Efficient transient?

    thermal analysis of chiplet heterogeneous integration, Applied Thermal Engineering, 229 120609 (2023)??

    (SCI, IF=6.465)

    3.?Chenghan Wang, Qinzhi Xu, Chuanjun Nie, He Cao, Jianyun Liu, Zhiqiang Li; An efficient thermal?

    model of chiplet heterogeneous integration system for steady-state temperature prediction,?

    Microelectronics Reliability, 146 115006 (2023). (SCI, IF=1.6)

    4.?Qinzhi Xu, He Cao and Jianyun Liu; A Physics-Based Chip-Scale Surface Profile Model for Tungsten?

    Chemical Mechanical Planarization, ECS. J. Solid State Sci. Technol. 12, 024004 (2023). (SCI, IF=2.2)

    5.?Qinzhi Xu, Lan Chen, He Cao and Jianyun Liu; A Neural Network-Based Approach to Material?

    Removal Rate Prediction for Copper Chemical Mechanical Planarization, ECS. J. Solid State Sci.?

    Technol. 10, 054003 (2021). (SCI, IF=2.2)

    6.?He Cao, Ding Lan, Yuren. Wang, Alex A. Volinsky, Li Duan, Heng Jiang, Fracture of colloidal single-

    crystal films fabricated by controlled vertical drying deposition, Physical Review E, 2010, 82(3):31062.

    (SCI, IF=2.3)

    ????7.?曹鶴, 藍鼎, 王育人, 垂直沉積干燥薄膜的剪切模量粒徑依賴研究, 力學與實踐, 2012, (01):27-30. (EI)

    專利申請：

  • 申請專利30余項，已授權27項。

    1.?曹鶴, 陳嵐, 徐勤志, 孫艷，一種確定CMP工藝蝶形缺陷位置的方法及裝置，CN202110818227.7.

    2.?曹鶴，陳嵐，徐勤志，孫艷，基于多重自由網格的化學機械研磨工藝缺陷處理方法，CN202010369784.0.

    3.?曹鶴，陳嵐，孫艷，張賀,CMP缺陷的檢測方法、裝置、存儲介質和處理器,CN201910749049.X.

    4.?曹鶴，陳嵐，孫艷，張賀，彩虹，一種CMP后表面形貌預測方法及裝置，CN201810265900.7.

    5.?曹鶴, 陳嵐, 孫艷，一種冗余金屬的填充方法及系統，CN201710422995.4.

    6.?曹鶴，陳嵐，孫艷，張賀，一種改善CMP缺陷的優化方法及系統，CN201710398820.4.

    7.?曹鶴，陳嵐，張賀，CMP缺陷預測方法和系統，ZL201611089351.X.

    8.?曹鶴，陳嵐，張賀，一種冗余金屬的填充方法及裝置，ZL201611089393.3.

    9.?曹鶴，陳嵐，劉建云，石顯鋒，張賀，一種冗余金屬填充的方法及系統，ZL201610119214.X.

    ????10.曹鶴，陳嵐，張賀，一種化學機械研磨缺陷檢測方法，CN107195561A.

    獲獎及榮譽：