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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 劉立拓
  • 性別： 男
  • 職稱： 副研究員
  • 職務： 
  • 學歷： 博士
  • 電話： 82178849
  • 傳真： 
  • 電子郵件： liulituo@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電技術研發中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景：?

    2012年6月畢業于中國科學院合肥物質科學研究院 光學博士?

    2007年畢業于河北大學 物理學學士?

    工作簡歷：

    2012年7月-2015年4月，2018年5月-至今 中國科學院微電子研究所?

    2015年5月-2018年4月 中國科學院力學研究所

    社會任職：

  • 1.全國光電標準委員會委員；

    2.集成電路測試委員會委員

    研究方向：

  • 半導體光學檢測技術、光譜檢測技術

    承擔科研項目情況：

  • 2020年10月-2023年9月，承擔國家重點研發計劃課題“光學元件亞表面缺陷原位顯微測量識別算法研究及軟件開發”；?

    2022年11月-2025年10月，承擔裝發預研項目“晶圓缺陷檢測技術”;??

    2021年8月-2023年7月，承擔橫向項目“45nm非圖形晶圓缺陷檢測光學系統研發”

    代表論著：

  • 1.Potential use of laser-induced breakdown spectroscopy combined laser cleaning for inspection of particle defect components on silicon Wafer”. J. of Micro/Nanolithography. MeMS,andMOEMS,18(3),034002, 2019.SCI；??

    2.Detection of Particle Defect Components on Silicon Wafer with Laser Induced Breakdown Spectroscopy Combined Laser Cleaning. 2019SPIE；

    3.硅片表面納米顆粒剝離及其成分檢測方法研究, 物理學報Vol. 69, No. 16 (2020)；

    4.基于TSOM的光學元件亞表面缺陷檢測方法研究，光學學報；?

    專利申請：

  • 1.有圖形晶圓及掩模版的缺陷檢測方法及裝置，201811259816.0；?

    2.基于非相干光源和波帶片成像的掩模缺陷檢測方法及系統，201911374143.8

    獲獎及榮譽：

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