周娜--中國科學院微電子研究所

人才隊伍

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姓名： 周娜
性別： 女
職稱： 高級工程師
職務：
學歷： 博士
電話： 010-82995794
傳真：
電子郵件： zhouna@ime.ac.cn
所屬部門： 先導中心
通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

簡　　歷：

教育背景：

2009.09-2013.01 中國科學院物理研究所，凝聚態物理，博士

2006.09-2009.07 中國石油大學（北京），材料學，     碩士

2002.09-2006.07 武漢大學，     電子信息科學與技術，學士

工作簡歷：
2016.06-至今    中國科學院微電子研究所，高級工程師

2013.04-2016.05 北京市北方微電子（北方華創），資深工程師

社會任職：

研究方向：

先進CMOS器件工藝; 先進MEMS器件工藝; MEMS（NEMS）傳感器技術

承擔科研項目情況：

1      2022.1-2024.12，先導C項目，子課題負責人；
2      2020.1-2022.12，企業橫向課題，負責人；

3      2019.1-2021.12，北京科委項目，參與人；

4      2020.1-2022.12，中科院集成電路創新研究院項目，參與人；

5      2019.12-2020.6，北京市實陪項目，負責人，已結題；

6      2017.1-2018.12, 企業橫向課題，負責人，已結題；

代表論著：

1.    Hongbo Li, Gaobo Xu, Chenchen Zhang, Haiyang Mao, Na Zhou* and Dapeng Chen, “A Sensitivity Controllable Thermopile Infrared Sensor by Monolithic

Integration of a N-channel Metal Oxide Semiconductor”，ECS J. Solid State Sci. Technol., 2021, 10, 097002.

2.     Yang Liu, Jie Cheng, Aiyao Tang, Mingxiao Li, Haiyang Mao, Na Zhou*, and Chengjun Huang*, “Hierarchical ZnO nanospikes on rough nanopillars for gas sensing with self-cleaning properties”, Transducers, 2021.

3. Guidong Chen, Yang Liu, Meng Shi, Na Zhou, Xin Dai, Haiyang Mao* and Dapeng Chen, "Performance Enhanced Humidity Sensor by in-situ Integration of Nanoforests," IEEE Electron Device Letters, 2021, 3062063.

4.     Na Zhou*, Junjie Li, Haiyang Mao*, Hao Liu, Jinbiao Liu, Jianfeng Gao, Jinjuan Xiang, Yanpeng Hu, Meng Shi, Jiaxin Ju, Yuxiao Lei, Tao Yang, Junfeng Li, Wenwu Wang, “The study of reactive ion etching of heavily doped polysilicon based on HBr/O₂/He plasmas for thermopile devices”, Materials, 2020,13, 4278.

5.    Junjie Li, Yongliang Li, Na Zhou, et al, Wenwu Wang*, Henry H Radamson, “Study of Silicon Nitride Inner Spacer Formation in Process of Gate-all-around Nano-Transistors”, Nanomaterials, 2020, 10, 4793.

6.     Na Zhou*，Junjie Li，Henry Radamson，Lin Li，Qifeng Jiang，Junfeng Li, “Deep silicon etching for thermopile structures using a modified Bosch process”, Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2019, 18, 2.

7.    Na Zhou, Yueyong Yang, Huijue Wu, Yanhong Luo, Dongmei Li, and Qingbo Meng*, “Panchromatic quantum dot sensitized solar cells based on parallel tandem structure”, ChemsusChem, 2013, 6, 687.

8.     Na Zhou, Guoping Chen, Dongmei Li, Qingbo Meng*, “Highly efficient PbS/CdS co-sensitized solar cells based on photoanodes with hierarchical pore distribution”, Electrochem. Comm., 2012, 20, 97.

9. Na Zhou, Kun Zhao*, Hao Liu, Songqing Zhao, Hui Zhao, “Ultrafast photovoltaic effects in miscut Nb-doped SrTiO3 single crystals”, J. Appl. Phys., 2009, 105, 083110.

10.    N. Zhou, K. Zhao*, H. Liu, H. B. Lu, M. He, S. Q. Zhao, W. X. Leng, “Enhanced photovoltage in perovskite-type artificial superlattice on Si substrates”, J. Phys. D: Appl. Phys., 2008, 41, 155414.

專利申請：

已授權專利：

1. 周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，劉洋，李茂，楊濤，李俊峰，王文武，陳大鵬,一種納米森林結構的制備方法, 申請號：202011269623.0，申請日期：2020-11-13

2. 周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，楊濤，李俊峰，王文武，陳大鵬，一種低噪聲熱電堆器件的制作方法, 申請號：202011262979.1，申請日期：2020-11-12

3. 周娜，毛海央，高建峰，李俊杰，楊濤，李俊峰，王文武，陳大鵬，一種懸橋結構熱電堆器件的制作方法, 申請號：202011262952.2，申請日期：2020-11-12

4. 周娜,李俊杰,高建峰,楊濤,李俊峰,王文武，堆疊納米線環柵器件及其制作方法，申請號：202011036930.4，申請日期：2020-09-27

5. 周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，楊濤，李俊峰，王文武，陳大鵬，高吸收熱電堆及制作方法，申請號：202010874367.1，申請日期：2020-08-26

6. 周娜，毛海央，李俊杰，高建峰，楊濤，李俊峰，王文武，陳大鵬，高吸收納米結構熱電堆及其制作方法, 申請號： 202010874173.1, 申請日期： 2020-08-26

7. 周娜，李俊杰，高建峰，楊濤，李俊峰，王文武，水平納米通道陣列、微納流控芯片及其制作方法，中國，申請號：CN202010438674.5,申請日期：2020-05-21

8. 周娜，雷雨瀟，李俊杰，盧一泓，高建峰，楊濤，李俊峰，王文武，熱電堆及其制作方法，中國，申請號：CN202010389902.4,申請日期：2020-05-09

9. 周娜，李俊杰，毛海央，高建峰，楊濤，李俊峰，王文武，熱電堆及其制作方法，中國，申請號：CN202010389904.3,申請日期：2020-05-09

10. 周娜，李俊杰，熊文娟，高建峰，楊濤，李俊峰，一種熱電堆及其制備方法、探測器，中國，申請號：CN201911415065.1，申請日期：2019-12-31

獲獎及榮譽：

2021.03 北京信息電子技術大型儀器區域中心“優秀個人”；

2020.12 中國科學院微電子所集成電路先導中心“工程之星”, “抗疫之星”；

2019.04 中國科學院微電子研究所“優秀共產黨員”；

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社會任職：

研究方向：

承擔科研項目情況：

代表論著：

專利申請：

獲獎及榮譽：

簡　　歷：