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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 丁金濱
  • 性別： 男
  • 職稱： 高級工程師
  • 職務： 
  • 學歷： 碩士
  • 電話： 010-82178623
  • 傳真： 
  • 電子郵件： dingjinbin@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電研發中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    2006年04月畢業于北京航空航天大學航空宇航推進理論與工程專業，碩士研究生學歷 

    工作簡歷 

    2002.07-2003.06  中國兵器工業第五設計研究院  助理工程師 

    2006.04-2018.10  中國科學院光電研究院光電工程部  助理工程師-工程師-高級工程師 

    2018.11-今      中國科學院微電子研究所光電研發中心  高級工程師 

    社會任職：

    研究方向：

  • 精密儀器與機械、準分子激光技術、光電測量技術

    承擔科研項目情況：

  • 1. 248nm KrF光刻機曝光光源開發 

    2. 40W 4KHz ArF曝光光源產品開發 

    3. 浸沒式曝光光源研制與小批量產品生產能力建設

    代表論著：

  • 1. 高重頻準分子激光器中放電沖擊波特性的實驗研究, 中國激光, 2019 

    2. ANSYS Workbench 18.0有限元分析案例詳解, 清華大學出版社, 2019 

    3. Corrosion Behaviors of the Copper Alloy Electrodes in ArF Excimer Laser Operation Process, High Power Laser Science and Engineering, 2017

    專利申請：

  • 獲授權國際專利2項，申請國內發明專利三十余項，其中獲得授權21項，部分如下： 

    1. 激光器放電腔的六自由度調節機構, CN103269009B  

    2. 一種準分子激光器用貫流風機葉輪, CN102777416B  

    3. 基于改進的貫流風機葉輪的單腔雙電極放電腔, CN103151679B 

    4. 一種準分子激光器高純工作氣體配送系統及方法, CN105846290B 

    5. 雙電極放電腔的導流裝置及應用其的放電腔、準分子激光器, CN102969645B

    獲獎及榮譽：

  • 1、第十七屆中國專利獎優秀獎，中華人民共和國知識產權局，2015年12月 

    2、第四屆北京市發明專利獎三等獎，北京市人民政府，2017年02月 

    3、科技成果轉化特等獎，中國科學院北京分院，2015年12月