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當(dāng)前位置 首頁 人才隊(duì)伍
  • 姓名： 吳曉斌
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務(wù)： 副主任
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： wuxiaobin@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光電技術(shù)研發(fā)中心
  • 通訊地址： 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    1996.09-2000.07，浙江大學(xué)光電信息工程系，光學(xué)工程，工學(xué)學(xué)士 

    2001.09-2009.01，清華大學(xué)精密儀器系，光學(xué)工程，碩博連讀，工學(xué)博士 

    工作簡歷 

    2009.05-2018.10，中國科學(xué)院光電研究院，投影光學(xué)室，助理研究員、副研究員、研究員 

    2018.11-至今，  中國科學(xué)院微電子研究所，光電技術(shù)研發(fā)中心，研究員 

    社會(huì)任職：

  • 1.中國計(jì)量測試學(xué)會(huì)真空計(jì)量專業(yè)委員會(huì)副主任委員 

    2.全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)委員 

    3.中國真空學(xué)會(huì)質(zhì)譜分析與檢漏專委會(huì)委員 

    4.中國真空學(xué)會(huì)真空冶金專業(yè)委員會(huì)委員 

    5.《真空與低溫》編委

    研究方向：

  • 極紫外光刻、光學(xué)工程、光學(xué)檢測、精密儀器

    承擔(dān)科研項(xiàng)目情況：

  • 1.國家科技重大專項(xiàng)“EUV基礎(chǔ)共性技術(shù)研究”，主持人，在研 

    2.國家科技重大專項(xiàng)“EVUL動(dòng)態(tài)真空與熱環(huán)境技術(shù)研究”，主持人，在研 

    3.國家科技重大專項(xiàng)“高NA投影曝光光學(xué)系統(tǒng)及其產(chǎn)業(yè)化發(fā)展研究”，主持人，結(jié)題 

    4.國家科技重大專項(xiàng)“20W 4kHz ArF曝光光源研發(fā)”，參與，結(jié)題

    代表論著：

  • 1.   Y. Luo, X. Wu, K. Wang, Y. Wang. Comparative study on surface influence to outgassing performance of aluminum alloy. Applied Surface Science. 2020, 502(144166):1-8.  

    2.   Min Lei, Xiaobin Wu, Wei Zhang, Xiaoping Li, Xuedong Chen，The implementation of subsonic boundary conditions for the direct simulation Monte Carlo method in dsmcFoam， Computers and Fluids, 156 (2017) 209–219. 

    3.   Y. Luo, X. Wu, K. Wang, Y. Wang. Comparative Study on the Outgassing Rate of Materials using Different Methods. MAPAN-Journal of Metrology Society of India. 2016, 31(1):61-68.  

    4.   羅艷,王魁波,張羅莎,吳曉斌,王宇. 聚合物的放氣分率與放氣模型研究. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào).2015,35(9):1100-1104.  

    5.   羅艷,王魁波,吳曉斌. 極紫外光刻機(jī)真空材料放氣分率的單質(zhì)譜測試方法研究. 質(zhì)譜學(xué)報(bào).2018,39(4):392-398.  

    6.   Xiaobin Wu, Yan Luo, Kuibo Wang. Obtaining and Maintaining of Clean High Vacuum on the Material Outgassing Test System. KEM-Key Engineering Materials. 2017,723:111-118.  

    7.   羅艷,王魁波,吳曉斌,王宇. 高精度真空材料放氣測試研究. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2016,36(3):251-257.  

    8.   羅艷，吳曉斌，周翊，王宇. 準(zhǔn)分子激光與SiC 陶瓷的相互作用研究. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展.2016，53(121403):1-6.  

    9.   羅艷,王魁波,吳曉斌,王宇. 超高精度質(zhì)譜檢出限的測試技術(shù)研究. 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào).2018,38(11):938-943.  

    10.  羅艷，吳曉斌，王魁波. 高精度四極質(zhì)譜檢測限測試和影響因素分析. 分析測試技術(shù)與儀器. 2019,(25)4:211-218.

    專利申請：

  • 申請國家發(fā)明專利40余項(xiàng)，授權(quán)20余項(xiàng)；授權(quán)實(shí)用新型專項(xiàng)30余項(xiàng)；申請PCT國際專利4項(xiàng)，部分專利如下： 

    1.     多元合金薄膜的制備裝置及其制備方法.國際. PCT/CN2017/116599.  

    2.     多元合金薄膜的制備裝置及其制備方法. 中國. ZL201711125054.0.  

    3.     一種聚合物輻照損傷測試裝置. 中國. ZL201520877033.4. 

    4.     一種材料輻射致放氣的在線測試裝置.中國. ZL201621345502.9. 

    5.     一種高精度質(zhì)譜檢出限的檢測裝置. 中國.ZL201820946643.9. 

    6.     一種材料輻射致氣體滲透的測試裝置. 中國.ZL201621138020.6. 

    7.     一種材料分壓放氣率測試裝置及方法.中國. ZL201510427893.2. 

    8.     一種分壓漏率測量裝置及方法. 中國. ZL201610473484.0. 

    9.     一種使用電場降低碎屑的方法、裝置和EUV光源系統(tǒng). 中國. ZL201310538366.X. 

    10.    一種用于激光光源的液態(tài)金屬靶產(chǎn)生裝置. 中國. ZL 201310182436.2. 

    11.    一種極紫外光源性能參數(shù)的測量系統(tǒng). 中國. ZL201510772679.0. 

    12.    一種可在線測量能量的極紫外輻照損傷測試系統(tǒng). 中國. ZL201610548432.5. 

    13.    一種反射式光學(xué)元件溫控系統(tǒng). 中國.ZL201310665292.6. 

    14.    真空密封件分壓漏率測量系統(tǒng)及其測量方法. 中國.ZL201310275992.4. 

    15.    用于極紫外光刻板級電子學(xué)系統(tǒng)的真空密封裝置.中國. ZL201620189119.2 

    16.    一種用于極紫外光刻板級電子學(xué)系統(tǒng)的散熱裝置. 中國. ZL201620185955.3. 

    獲獎(jiǎng)及榮譽(yù)：