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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 宗明成
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務： 
  • 學歷： 博士
  • 電話： 010-82995870
  • 傳真： 
  • 電子郵件： zongmingcheng@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 光刻技術總體部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景

    1989年畢業于清華大學物理系，獲理學（光學）博士學位 ?

    1986年畢業于東南大學電子工程系，獲工學碩士學位 ?

    1983年畢業于東南大學電子工程系，獲工學學士學位?

    工作簡歷?

    2011.04 –至今：中國科學院微電子研究所，研究員、博士生導師，國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”總體組特聘專家。?

    2009.05 – 2011.03：荷蘭皇家飛利浦照明研發中心(中國)總監。 ?

    2000.01 – 2009.05：荷蘭ASML光刻機公司研發經理、高級工程師。 ?

    1999.02 – 1999.12：荷蘭國家原子分子研究所 （AMOLF）研究員。 ?

    1998.02 – 1999.01：荷蘭代爾夫特（Delft）技術大學研究員。 ?

    1990.01 – 1998.01：北京交通大學教授，系主任等。?

    社會任職：

    研究方向：

  • 先進光刻技術、光學工程、精密檢測技術

    承擔科研項目情況：

  • 作為課題負責人或首席科學家先后承擔5項國家科技重大專項研究任務。

    代表論著：

  • 發表約30篇學術論文。

    專利申請：

  • 中國、美國發明專利約20項。

    獲獎及榮譽：