教育背景
2003.09-2007.6? 長(zhǎng)春理工大學(xué),電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè),本科?
2007.9-2010.4?? 長(zhǎng)春理工大學(xué),光學(xué)工程專業(yè),碩士?
工作簡(jiǎn)歷?
2010.4-2018.7 中國(guó)科學(xué)院光電研究院,工程師?
2018.7-2018.11 中國(guó)科學(xué)院光電研究院,高級(jí)工程師?
2018.11-至今 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所,高級(jí)工程師?
[1] Jiani Su, Zengxiong Lu, Yuejing Qi. Confocal position alignment in high-precision wavefront error metrology using Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. SPIE, 2016, 97801N.?
[2] Jiani Su, Yuejing Qi, Yu Wang. Design of digital light processing mini-projection lens, Proc. SPIE, 2019, 108381F.申請(qǐng)發(fā)明專利19項(xiàng), 申請(qǐng)實(shí)用新型18項(xiàng),代表性專利有:?
[1]一種光刻投影物鏡系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置與方法,發(fā)明,專利號(hào)ZL201410185411.2?
[2]一種光學(xué)系統(tǒng)波像差測(cè)量裝置與測(cè)量方法,發(fā)明,專利號(hào)ZL201410373440.1?
[3]一種內(nèi)窺鏡用攝像適配器光學(xué)系統(tǒng),發(fā)明,專利號(hào)ZL201410184450.0?
[4]一種高分辨率低畸變微型投影鏡頭,發(fā)明,專利號(hào)201810144424.3?
[5]投影物鏡的數(shù)值孔徑的在線檢測(cè)裝置及方法,發(fā)明,專利號(hào)201810416484.6
人才隊(duì)伍