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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名： 齊月靜
  • 性別： 女
  • 職稱： 研究員
  • 職務： 副主任
  • 學歷： 博士
  • 電話： 82995930
  • 傳真： 
  • 電子郵件： qiyuejing@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 新技術開發部
  • 通訊地址： 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡　　歷：

  • 教育背景：

    2002.09-2007.03 ?北京理工大學，精密儀器及機械專業，碩博連讀研究生?

    2007.04-2009.06? 北京理工大學，兵器發射理論與技術專業，博士后??

    工作簡歷：?

    2009.06-2014.11? 中科院光電研究院，副研究員?

    2014.12-2018.10? 中科院光電研究院，研究員，投影光學研究室副主任?

    2018.11-至今??? 中科院微電子研究所，研究員，光刻技術總體部副主任?

    社會任職：

  • 中國科學院大學崗位教授，博士生導師

    研究方向：

  • 光刻技術、精密儀器及光學、光電信息處理

    承擔科研項目情況：

  • 作為課題負責人，承接國家科技重大專項、省部級項目等科研任務10余項。

    代表論著：

  • 發表期刊論文20余篇，會議論文10余篇。?

    [1]齊月靜, 盧增雄, 楊光華.照明物鏡數值孔徑對微孔衍射波前質量影響分析[J].中國激光.2015.42(2）.?

    [2]馬敬，齊月靜，盧增雄. 光譜共焦位移傳感器線性色散物鏡設計[J]. 中國激光，2019，46(7):0704009. ?

    [3]Yuejing Qi, Zengxiong Lu, Gongming Ding, Jiani Su. A new illumination source for Shack-Hartmann wavefront sensor，Proc. of SPIE. 2014.9282.?

    [4]Meng Qingbin,Qi Yuejing, Lu Zengxiong,Su Jiani. ?Effect of ambient temperature on the measurement accuracy of Shack-Hartmann wavefront sensor, Proc. of SPIE, 2015,9621.?

    [5] Yuejing Qi, Zengxiong Lu*, Jing Ma, Guanghua Yang, Qingyang Zhang, Bing Li, Wei Qi, Jiani Su. Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method[C]. Proc. SPIE, 2019, 108401G.

    專利申請：

  • 申請發明專利40余項, 申請實用新型共計30項，代表性專利有：?

    [1]?一種基于夏克-哈特曼波前傳感器的光學系統波像差測量裝置與方法，發明,專利號:ZL201710247966.9?

    [2]?一種光譜共焦測量系統在線標定裝置與方法，發明，專利號:ZL 201710242017.1?

    [3]一種深紫外光學系統共焦對準裝置與方法, 發明,?專利號: ZL201611169770.4?

    [4]一種深紫外光學系統波像差檢測裝置和方法，發明,專利號: ZL 201611169812.4 ?

    [5] 基于雙光束干涉的投影物鏡波像差在線檢測裝置和方法, 發明,?專利號: ZL201310041059.0

    獲獎及榮譽：