教育背景
1995.9-1999.7南京理工大學 自動控制專業 本科
2003.9-2006.7中國地質大學(北京)通訊與信息技術 研究生
工作簡歷
2006.7-至今 中國科學院微電子研究所 從事射頻電源、自動匹配器、勻膠機等設備的研發工作
電子電路設計 設備研發
1、院功能開發項目,Y7SH018001,用于高精度納米薄膜制備的高速高穩定旋涂設備功能升級,30萬元,在研,主持
2、所長基金項目,08SF168001,50萬,自動匹配器研發滾動支持,已完成,主持
3、所長基金項目,06SB063001,10萬,自動匹配器研發,已完成,主持
一種用于匹配器設備的空氣電容結構 201310029910.8
人才隊伍