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教育背景

美國佛羅里達國際大學電子工程系，摩托羅拉納米工程中心，光學博士。（2009年）

中國科學技術大學物理系，物理學學士。（2003年）

工作簡歷

中國科學院微電子研究所微電子儀器設備研發中心, 副研究員。（2010年-）

專注于納米尺度物質的結構測量及物性表征方法研究，及相關儀器的系統級研發。

科研方向

1）新型掃描探針測量。

2）超寬頻帶偏振光譜測量

3）光學散射表征技術。

4）光學干涉及三維結構測量。

5）新型納米光學器件。

應用方向

1）超衍射空間分辨率的物性表征。

2）微納結構三維形貌測量（周期性結構/非周期性結構）。

3）微納薄膜結構測量和物性表征。

4）晶圓表面缺陷及污染的檢測。