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當前位置 首頁 人才隊伍
  • 姓名: 李超波
  • 性別: 男
  • 職稱: 研究員
  • 職務: 研發中心主任
  • 學歷: 工學博士
  • 電話: 010-82995651
  • 傳真: 010-82995687
  • 電子郵件: lichaobo@ime.ac.cn
  • 所屬部門: 微電子儀器設備研發中心
  • 通訊地址: 北京市朝陽區北土城西路3號

    簡  歷:

  • 教育背景 

    1997-2001 山東大學 通信與信息系統 理學學士 

    2002-2007 中國科學院微電子研究所 微電子學與固體電子學工學博士   

    工作簡歷 

    2007.07至今,在中國科學院微電子研究所工作,現為研究員、博士生導師、微電子儀器設備研發中心主任

    社會任職:

    研究方向:

  • 新原理納米加工工藝與裝備、MEMS制造與傳感技術、智能裝備 

    承擔科研項目情況:

  •  

    代表論著:

    專利申請:

    獲獎及榮譽: