1964年4月出生于江西豐城，微電子科學與技術專家。1985年本科畢業于合肥工業大學，1988年獲該校碩士學位，1998年于北京航空航天大學獲博士學位。2000年被聘為中國科學院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術研究室主任。2008年獲得國家杰出青年基金資助。現任中國科學院微電子研究所研究員、博士生導師。2015年當選為中國科學院院士。
任中國真空學會第六屆理事、中國材料學會青年委員會常務理事、同時擔任中國科學院半導體研究所半導體材料重點實驗室學術委員會委員和中國科學院物理所微加工實驗室學術委員會副主任。
2004年獲國務院政府津貼；
國家技術發明二等獎3項（2013年（排名第1）、2007年（排名第2）、2005年（排名第4））；
國家科技進步二等獎1項（2009年（排名第4））；
中國電子學會科學技術獎自然科學類一等獎（2015年（排名第1））；
北京市科學技術一等獎2項（2010年（排名第1）、2003年（排名第10））；
北京市科學技術二等獎2項（2014年（排名第1）、2002年（排名第3））；
中國真空科技成就獎（2012年）；
中科院杰出成就獎（2014年（排名第8））。
人才隊伍