教育背景：
1998畢業于德國馬普固體所/德國斯圖加特大學，獲理學博士學位
1992畢業于中國科學院電子學研究所，獲工學碩士學位
工作簡歷：
2013年 – 至今： 中國科學院微電子研究所研究員、博士生導師；國家科技重大專項“300mm晶圓勻膠顯影設備”首席科學家（沈陽芯源微電子設備公司）。
2009年 – 2013年： 美國格羅方德紐約研發中心光刻經理。
2007年 – 2008年： 美國安智公司新澤西研發中心，高級科學家(Senior Staff Scientist)。
2001年 – 2007年： 德國英飛凌公司美國紐約研發中心，高級工程師(Senior/Staff Engineer)。
1998年 – 2001年： 美國能源部橡樹嶺國家實驗室，博士后
193nm浸沒式光刻工藝；光學鄰近效應修正（optical proximity collection）；光刻材料研發和評估；勻膠顯影設備（track）研發
人才隊伍