教育背景
2005年畢業于清華大學，工學博士
1998年畢業于電子科技大學，工學碩士
1995年畢業于電子科大學，工學學士
工作簡歷
2019年-至今：中國科學院微電子研究所 研究員
2008年-2018年：中國科學院微電子研究所 副研究員
2005年-2007年：中國科學院微電子研究所 博士后
1998年-2000年：電子科技大學 講師
自然科學基金：“面向低功耗數字電路應用的多晶鍺硅納機電開關研究”，項目負責人；
973計劃子課題：“低功耗器件建模與集成電路”，子課題負責人；
所長基金：“IP共性技術研究-IP打包技術”，項目負責人；
國家重大科技專項：“晶圓級石墨烯電子材料與器件研究”，任務負責人；
所內研發項目：“混合信號PDK開發”；項目負責人；
國家重大科技專項：“5nm光刻技術方案與設計規則優化”，課題骨干；
國家重大科技專項：“下一代技術節點三維存儲器的光刻方案研究”，課題骨干；
國家重大科技專項：“國產計算光刻系統性能評估”，課題骨干；
國家重大科技專項：“ET-SOI器件與關鍵工藝研究”，課題骨干；
國家重大科技專項：“14nm FINFET工藝技術研發”，課題骨干；
科技部重點專項：“半導體二維晶體材料的制備”，課題骨干；
國家重大科技專項：“22納米關鍵工藝技術先導研究與平臺建設”，課題骨干；
所長基金：“面向20/14nm技術節點的先進光刻技術”，課題骨干；
發表SCI和EI論文30余篇，專利10余項。
人才隊伍