曾任:
國家重大科技攻關課題負責人;
攀登計劃首席科學家;
國家重大基礎研究顧問專家組成員;
中科院學部主席團成員;
中國電子學會常務理事;
半導體與集成技術分會主任;
第九屆、十屆全國人大常委會委員和教科文衛委員會委員等職務。
半導體器件和集成電路
在國內率先提出了利用MEMS結構實現激光器和光纖的無源耦合。并研究成功工作速率達10Gbps的光發射模塊。其中“先進的深亞微米工藝技術及新型器件”獲2003年北京市科學技術一等獎。
獨立自主開發成功全套0.8微米CMOS工藝技術。獲1998年中科院科技進步一等獎和1999年國家科技進步二等獎。作為國家攀登計劃首席科學家負責“深亞微米結構器件及介觀物理項目研究。開展了12項課題的研究。為介觀物理基礎和新結構器件的進一步研究打下基礎
作為工藝負責人研究成功N溝MOS 4K、16K動態隨機存儲器和成品率的提高。獨創了檢驗接觸孔質量的露點檢測法。并推廣到上海器件五廠。分別獲得1980和1981年中科院科技成果一等獎兩次。負責平面型高速開關管的研究,獨立解決了提高開關速度的關鍵問題,并推廣至上海器件五廠和109廠,為兩彈一星采用的109計算機提供器件基礎。獲國家新產品一等獎。
2004年,獲何梁何利技術科學獎。
人才隊伍