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當(dāng)前位置 首頁(yè) 人才隊(duì)伍
  • 姓名： 陳大鵬
  • 性別： 男
  • 職稱： 研究員
  • 職務(wù)： 
  • 學(xué)歷： 博士
  • 電話： 
  • 傳真： 
  • 電子郵件： dpchen@ime.ac.cn
  • 所屬部門： 
  • 通訊地址： 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)

    簡(jiǎn)　　歷：

    社會(huì)任職：

  •  

    研究方向：

  • 微細(xì)加工技術(shù)

    承擔(dān)科研項(xiàng)目情況：

  • (1)“九五”國(guó)家重點(diǎn)科技項(xiàng)目97－762“0.1-0.35微米集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究”的子專題97－762－03 “先進(jìn)的深亞微米工藝技術(shù)”；

    (2)科學(xué)院重大創(chuàng)新方向性項(xiàng)目“電子束縮小投影光刻機(jī)（SCALPEL）”的子課題“投影電子束掩模研制”；

    (3)科技部863項(xiàng)目“多傳感器及陣列傳感器集成”；

    (4)科技部863項(xiàng)目“無(wú)掩模光刻系統(tǒng)”；

    (5)科技部863項(xiàng)目；

    (6)自然基金儀器專項(xiàng)“新型光學(xué)讀出非制冷紅外成像系統(tǒng)”；

    (7)自然基金“懸臂梁微尖端陣列器件加工及應(yīng)用技術(shù)研究”；

    (8)中科院知識(shí)創(chuàng)新方向性項(xiàng)目。

    代表論著：

    專利申請(qǐng)：

    獲獎(jiǎng)及榮譽(yù)：

  • 2003年“0.1-0.35微米集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究”獲北京市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)