11月16—21日，第十七屆中國國際高新技術成果交易會在深圳舉行。微電子所微電子儀器設備研發(fā)中心的“RIE-100反應離子刻蝕系統(tǒng)”榮獲交易會優(yōu)秀產(chǎn)品獎。 

　　“RIE-100反應離子刻蝕系統(tǒng)”是ME-3A/ME-6A型多功能磁增強反應離子刻蝕機的全新升級機型，設計更為簡潔、緊湊，全自動化控制，觸摸屏操作，加入了各種互鎖及報警功能，具有安全可靠，操作方便等優(yōu)點。展會上，“RIE-100反應離子刻蝕系統(tǒng)”的實物展示和宣傳展板吸引了大批參會者駐足參觀，微電子儀器設備研發(fā)中心科研人員為來賓詳細介紹設備的系統(tǒng)特點、配置、性能指標等，圍繞相關技術問題進行了深入交流，獲得客戶、來賓以及中國國際高新技術成果交易會組委會的一致好評。 

　　中國國際高新技術成果交易會是經(jīng)國務院批準舉辦的高新技術成果展示與交易的專業(yè)展會，至今已連續(xù)舉辦了十七屆，是目前中國規(guī)模最大、最具影響力的科技類展會，有“中國科技第一展”之稱。