1958年，為研制“兩彈一星”專用109計算機(jī)，中科院微電子所的前身、我國第一個半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠——“中國科學(xué)院109廠”成立，從此，中國有了自己的半導(dǎo)體事業(yè)。有這樣一群人，面對艱難困境，他們不服輸、不認(rèn)邪，默默地為中國集成電路事業(yè)打地基、添磚瓦，把青春年華獻(xiàn)給了祖國的科技事業(yè)。微電子所徐秋霞研究員便是其中杰出的一位。

一、不畏艱難，立志科研報國

1961年，徐秋霞考入浙江大學(xué)物理學(xué)專業(yè)。大三時，國家發(fā)展半導(dǎo)體事業(yè)急需人才，她隨之轉(zhuǎn)入了半導(dǎo)體專業(yè)，從此便與半導(dǎo)體結(jié)下了不解之緣。她勤奮學(xué)習(xí)，立志科研報國，決心要為祖國的半導(dǎo)體事業(yè)努力奮斗。從浙江大學(xué)物理學(xué)專業(yè)畢業(yè)后，徐秋霞選擇去條件艱苦的東北長春半導(dǎo)體廠工作，一干就是10多年，期間與愛人兩地分居8年多。作為新產(chǎn)品試制線負(fù)責(zé)人，她帶領(lǐng)團(tuán)隊一次次完成了急難險重任務(wù)，曾經(jīng)連續(xù)奮戰(zhàn)八個晝夜未眠。在一次項目攻關(guān)期間，她的父親突發(fā)急病，女兒又患上急性肝炎，為影響生產(chǎn)任務(wù)，她白天帶父親、女兒看病，晚上加班加點趕進(jìn)度，確保了項目按時保質(zhì)保量完成。在長春工作期間，她先后為廠里建立了兩條晶體管生產(chǎn)線，并獲得了穩(wěn)定的生產(chǎn)和成品率，產(chǎn)生了良好的經(jīng)濟(jì)效益，獲評長春市先進(jìn)工作者。

二、創(chuàng)新攻關(guān)，助力強(qiáng)國之夢

1978年，徐秋霞進(jìn)入中科院工作。在王守武院士、吳德馨院士的指導(dǎo)下，她作為工藝技術(shù)負(fù)責(zé)人，參與并完成了大規(guī)模集成電路4K DRAM的研制及其提高成品率的研究任務(wù)。1984年，她擔(dān)任中科院“七五”重大項目負(fù)責(zé)人，承擔(dān)了“1-1.5微米新工藝和新器件結(jié)構(gòu)探索性研究”，超指標(biāo)研制成功性能優(yōu)良的柵長0.6微米Ti自對準(zhǔn)硅化物LDD MOS器件及31級環(huán)振電路，達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先和國際先進(jìn)水平，獲評中科院“七五”重大科研任務(wù)先進(jìn)工作者。“八五”期間，她作為核心骨干承擔(dān)了“0.8微米全套工藝預(yù)研”項目關(guān)鍵技術(shù)研究和集成電路芯片制備，首次在國內(nèi)自主研發(fā)成功用于0.8微米VLSI的雙層金屬布線技術(shù)，并成功應(yīng)用于0.8微米CMOS電路研制，獲1996年中科院科技進(jìn)步一等獎、1997年國家科技進(jìn)步二等獎。

1996年，徐秋霞作為中科院高級訪問學(xué)者在美國加州大學(xué)伯克利分校做科研工作。她謝絕了伯克利大學(xué)的盛情挽留和優(yōu)厚待遇，回國投身“九五”科研攻關(guān)。她承擔(dān)了國家重點攻關(guān)專題“0.1微米級CMOS器件結(jié)構(gòu)及性能研究”，首次用創(chuàng)新工藝技術(shù)研制成功了柵長70納米CMOS器件和100納米57級環(huán)振電路，各項特性指標(biāo)和環(huán)振速度達(dá)到國際上同類研究工作的先進(jìn)水平，成為當(dāng)時我國一項重大的科研成果。該成果與她負(fù)責(zé)另一項國家重點攻關(guān)專題“0.18微米關(guān)鍵技術(shù)研究”同獲2002年北京市科學(xué)技術(shù)二等獎。

“十五”期間，徐秋霞作為國家重大基礎(chǔ)研究“973”課題負(fù)責(zé)人，承擔(dān)了“亞50納米器件的關(guān)鍵工藝技術(shù)基礎(chǔ)研究和器件制備”攻關(guān)任務(wù)，在器件設(shè)計和關(guān)鍵技術(shù)方面自主創(chuàng)新，超指標(biāo)完成了亞30納米器件關(guān)鍵技術(shù)研究，以第一發(fā)明人獲國家發(fā)明專利授權(quán)10項。2003年1月，她在國內(nèi)首次研制成功了性能優(yōu)良的柵長27納米CMOS器件和32分頻器電路（其中嵌入了201級環(huán)形振蕩器）。該成果獲2004年北京市科學(xué)技術(shù)獎一等獎，并獲2005年國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎。同期承擔(dān)的“863”課題“0.09微米集成電路大生產(chǎn)工藝與可制造性技術(shù)研究”中的子課題研究獲2007年教育部科技一等獎、2008年國家科技進(jìn)步二等獎。

“十一五”期間，徐秋霞擔(dān)任國家科技重大專項“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究”項目“工藝整合與集成技術(shù)研究”課題的首席科學(xué)家和“973”課題負(fù)責(zé)人。她帶領(lǐng)團(tuán)隊堅持自主創(chuàng)新，針對22納米及以下器件結(jié)構(gòu)和新技術(shù)展開了深入研究，攻克了重重技術(shù)難關(guān)，發(fā)表論文30多篇，獲專利授權(quán)40多項，項目成果“22-14納米集成電路器件工藝先導(dǎo)技術(shù)”獲2016年北京市科學(xué)技術(shù)一等獎、2017年國家技術(shù)發(fā)明二等獎。

三、無私奉獻(xiàn)，書寫絢麗科學(xué)人生

徐秋霞堅信，成功不是輕易獲得的。從長春半導(dǎo)體廠到中科院的前沿研究，從“七五”到“十一五”技術(shù)攻關(guān)，數(shù)十載科技創(chuàng)新實踐磨煉了徐秋霞艱苦奮斗的優(yōu)良品質(zhì)和不畏險阻的堅強(qiáng)意志。只要是工作，她就永遠(yuǎn)不會感覺疲勞。無論是工作日、休息日，甚至節(jié)假日，她每天都在超凈實驗室里工作10多個小時。任務(wù)緊急時，甚至通宵達(dá)旦。從項目的總體技術(shù)路線的確定，到單項實驗、技術(shù)集成直至最后的流片方案，她事必親躬，力求做到萬無一失。

2006年，先導(dǎo)中心工藝線改造升級。為了不耽誤科研進(jìn)度，徐秋霞和她的團(tuán)隊采取超常規(guī)的工作方式，從早7點連續(xù)工作到次日凌晨，每天只吃一頓午飯。如果實驗不順利，就會通宵達(dá)旦。臨近春節(jié)，工作強(qiáng)度仍然不減。她的一名博士把家人從山東老家接到北京團(tuán)聚。除夕夜，徐秋霞本打算邀請學(xué)生和他的家人一起吃年夜飯。但由于工作緊張，一直忙碌到第二天凌晨，連飯都沒顧上吃。徐秋霞感到十分愧疚。但這位學(xué)生的父親卻真誠地說：“把兒子交給您，我很放心。”學(xué)生家長的理解和信任給了她莫大的安慰和支持。

2013年，徐秋霞不慎摔了一跤，醫(yī)院診斷為脊椎壓縮性骨折。領(lǐng)導(dǎo)和同事都非常關(guān)心她的傷勢。手術(shù)很成功，但必須臥床休養(yǎng)。期間，她每天都用電話和電子郵件與團(tuán)隊成員溝通工作。一個月后，她剛能起身下床，便不顧家人、領(lǐng)導(dǎo)和同事的勸說，身著鐵背心堅持上班。同事們非常感動，最大限度地給予她幫助。同事們的關(guān)心和愛護(hù)給了徐秋霞溫暖，也給了她努力康復(fù)的精神力量。她堅持每天做康復(fù)訓(xùn)練，3個月后，終于脫去鐵背心，再次快樂地奮戰(zhàn)在科研一線。

四、教書育人，培育高新科技人才

在從事科研工作的同時，徐秋霞為研究生培養(yǎng)傾注了大量心血。作為博士生導(dǎo)師，她為人師表、教書育人，將知識和經(jīng)驗毫不保留地傳授給學(xué)生。無論科研工作多么繁忙，她總是抽出時間與學(xué)生交流，循循善誘、悉心指導(dǎo)，啟發(fā)學(xué)生思考。她常教導(dǎo)學(xué)生，做科研首先要有創(chuàng)新精神，只有大膽創(chuàng)新、敢于突破，才能產(chǎn)出成果；其次要心態(tài)平和，甘于清貧、甘于寂寞、甘于枯坐冷板凳，要一步一個腳印，將夢想變?yōu)楝F(xiàn)實。徐秋霞培養(yǎng)的學(xué)生多次獲得研究所特等獎學(xué)金、華為獎學(xué)金、中科院“三好學(xué)生標(biāo)兵”、中科院朱李月華獎學(xué)金、中科院院長獎學(xué)金等。她本人也多次獲評“優(yōu)秀教師”、“研究生喜愛的老師”等稱號。

如今，徐秋霞已年逾七旬，仍然精神矍鑠，像年輕人一樣充滿活力，堅持奮戰(zhàn)在科研一線。她常說“我多么希望咱們中國在最前沿的集成電路科技領(lǐng)域，能夠擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，能夠具有核心技術(shù)的競爭力，能成為集成電路產(chǎn)業(yè)的強(qiáng)國。幾十年來，我一直希望看到這樣一個局面。”她用實際行動，為實現(xiàn)這個目標(biāo)而畢生努力。在徐秋霞身上，我們看到了一名老科學(xué)家的光輝形象，她幾十年如一日，盡忠職守，為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展無私奉獻(xiàn)了自己的一生，以實際行動，激勵著后來人為實現(xiàn)中國集成電路強(qiáng)國之夢而奮斗！

工作中的徐秋霞研究員