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步入晚年，吳德馨先生依然堅守在科研一線，帶領團隊在垂直腔面發射激光器（VCSEL）領域持續深耕，取得了一系列具有重要影響力的突破性成果。

在高端精密光源研發方面，團隊成功研制出795nm縱向多腔耦合VCSEL。該器件通過有源腔與無源腔的協同設計與精確耦合，實現了光譜線寬的顯著壓縮，將其收窄至7.3MHz，同時保持了4.6mW的單模輸出功率。這一兼具窄線寬與高功率的光源特性，為高精度原子鐘、原子磁力儀等量子傳感系統提供了理想的核心光源，獲得了用戶單位的高度認可。該成果的成功研制，有效打破了國外在高端VCSEL光源領域的技術壟斷，提升了我國在量子傳感核心器件領域的自主可控能力。

在提升VCSEL功率與轉換效率方面，團隊在國內率先開展多有源區級聯VCSEL的研發，成功研制出雙有源區及六結級聯VCSEL結構。該設計顯著提升了器件的功率轉換效率，單管效率超過55％，陣列峰值功率密度突破2kW／mm2。相關器件已在固態激光雷達系統中實現應用，為智能感知技術與自動駕駛等產業發展提供了有力支撐。